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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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我国集成电路国产化水平不断提高 存储器市场需求旺盛

我国集成电路国产化水平不断提高 存储器市场需求旺盛

2025年随着关税战不断升级,中美双方都宣布对原产于两国的进口商品加征关税。作为中美科技博弈的关键一环,集成电路行业不可避免的受到影响。

2025年06月30日
我国存储芯片市场自主可控需求迫切 政策持续推动国产化

我国存储芯片市场自主可控需求迫切 政策持续推动国产化

在DRAM和NAND Flash两种存储芯片市场三星、海力士和美光在这两个细分市场中占据主导地位,全球市场份额分别达到44%、28%和23%。

2025年06月23日
碳化硅(SiC)行业将迎变革 新需求快速涌现

碳化硅(SiC)行业将迎变革 新需求快速涌现

由于SiC衬底生产工艺壁垒高,生产良率较低,全球产量具有明显的瓶颈,因此其制造成本一直居高不下。此外,外延片的参数性能会受到SiC衬底质量的影响,其本身也会影响下游器件的性能。由此可见,SiC衬底及外延片是SiC产业链的核心环节,行业的附加值向上游集中。

2025年06月19日
全球半导体设备市场规模创新高 中国半导体设备国产化潜力巨大

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据海关总署数据,2024年我国集成电路进口金额为3,586.45亿美元,同比增长2.18%,出口金额为1,594.99亿美元,同比增长17.30%,出口增速超过进口增速。受益行业国产替代逐步推进,近年来我国集成电路出口/进口金额比值逐步提高,从2011年的19.14%提升至2024年的44.47%。

2025年05月14日
毫米波雷达优势明显 汽车智能化推动我国毫米波雷达行业需求快速增长

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近年来,汽车智能化发展改革不断推进,毫米波雷达已广泛应用于汽车的ADAS系统。2021年我国毫米波雷达出货量已达1274万颗,展望未来,毫米波雷达出货量将不断扩大,2026年出货量有望超7000万颗。车载毫米波雷达数量也快速增长,2024年前端安装总量达到了2341万颗。

2025年05月14日
六维力矩传感器产业飞速发展 人形机器人打开应用新场景

六维力矩传感器产业飞速发展 人形机器人打开应用新场景

我国形成了比较完善的工业机器人产业链,已具备从上游核心零部件到中游本体制造再到下游系统集成的全产业链自主生产能力。近年来,在国家政策的推动下,中国工业机器人产量得到快速增长。2024年中国规上工业机器人产量55.6万套,同比增长14.2%。

2025年04月29日
我国SoC芯片行业国产化进程加速推进 市场竞争呈多元化与激烈化特征

我国SoC芯片行业国产化进程加速推进 市场竞争呈多元化与激烈化特征

自中美贸易战加剧以来,我国SoC芯片迎来巨大的打击,短期内遇到低估,不过随着以智能汽车为代表的新型需求的推动,弥补了智能手机带来的颓势,行业发展规模持续走高,2024年国内SoC芯片需求量约为283.02亿个。

2025年04月11日
多因素驱动我国存储芯片市场扩容 但行业自给率仍较低 未来国产替代空间广阔

多因素驱动我国存储芯片市场扩容 但行业自给率仍较低 未来国产替代空间广阔

随着整个半导体行业周期的回暖,以及AI数据中心等新型需求的驱动下,我国存储芯片需求继续呈现快速增长态势,2024年国内存储芯片销量约为1944.6亿个。

2025年04月09日
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