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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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我国电液控制系统行业处于快速成长阶段 本土企业加速实现高端产品进口替代

我国电液控制系统行业处于快速成长阶段 本土企业加速实现高端产品进口替代

从国内发展来看,当前电液控制系统市场竞争颇为激烈,市场集中度较高,市场上的头部企业拥有较为突出的技术和客户优势,2025年国内企业CR4约为41.40%,市场处于明显的寡占型格局。

2026年05月09日
我国薄膜沉积设备行业前景长期向好趋势明确 国产设备将逐步覆盖高端市场

我国薄膜沉积设备行业前景长期向好趋势明确 国产设备将逐步覆盖高端市场

尽管我国薄膜沉积设备国产化率仍然较低,但得益于国内半导体产业对先进制程设备的需求提升,以及政策对集成电路产业的重点扶持,市场已初步形成对薄膜沉积设备的认知,为后续技术突破和产能扩张奠定了基础。随着技术持续突破和产业链协同完善,国产设备将逐步覆盖高端市场,供应规模将进一步扩大。

2026年05月06日
从验证导入迈向批量交付 我国静电卡盘国产突围正当时

从验证导入迈向批量交付 我国静电卡盘国产突围正当时

静电卡盘市场主要由PVD设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建,中国半导体设备销售额占全球比例快速上升,中国大陆首次成为半导体设备全球第一大市场,进而推动静电卡盘市场的快速增长。截止2025年,我国静电卡盘行业市场规模达到58.38亿元。

2026年04月24日
以“滑”代“滚”趋势下我国风电滑动轴承市场供需两旺 四大阵营差异化竞逐

以“滑”代“滚”趋势下我国风电滑动轴承市场供需两旺 四大阵营差异化竞逐

近年来,在“双碳”目标深入推进、风电装机规模持续扩张、国产替代加速落地及技术迭代升级的多重驱动下,中国风电滑动轴承行业迎来稳健发展期,行业市场潜力持续释放。2025年中国风电滑动轴承行业市场规模为3.48亿元

2026年04月21日
我国液压行业:产销规模保持稳定增长态势 市场梯队化特征显著

我国液压行业:产销规模保持稳定增长态势 市场梯队化特征显著

目前国内液压行业产能高度集中于制造业基础雄厚、产业链配套完善的区域,形成以长三角、珠三角及环渤海地区为核心的产业集群格局。其中,江苏省是我国液压产业主要省份,以徐州、常州、无锡为核心,依托徐工集团、恒立液压等龙头企业,构建起“主机—部件—元器件”一体化产业生态。

2026年04月07日
我国感光干膜行业处于成长期中期 技术竞争与国产化替代并行

我国感光干膜行业处于成长期中期 技术竞争与国产化替代并行

我国感光干膜行业产量随着下游需求的刺激而稳步增长,国内企业随着国产替代进程的持续推进,也有着越来越好的市场表现,截止2024年我国感光干膜产量约为7.76亿平方米,2025年产量约为8.56亿平方米。

2026年04月03日
我国低压电器行业市场化程度较高,国产替代加速

我国低压电器行业市场化程度较高,国产替代加速

低压电器行业既与宏观经济发展和全社会用电量密切相关,也与固定资产投资尤其是工业生产投资、电网工程投资等状况联系紧密。国内宏观经济发展方面,国家统计局公布2025年国内生产总值1401879亿元,比上年增长5.0%;同期全国固定资产投资(不含农户)485186亿元,比上年下降3.8% (按可比口径计算),第二产业投资17

2026年03月27日
我国半导体材料装备行业:国产替代加速 原材料价格波动与供应链安全制造成本基线

我国半导体材料装备行业:国产替代加速 原材料价格波动与供应链安全制造成本基线

中国半导体材料装备行业在2023年经历终端需求缩减、市场规模下滑的态势后,2024年整体呈现恢复增长态势,与全球半导体材料行业的发展趋势基本一致。截止2025年,我国半导体材料装备市场规模达到4678亿元。

2026年03月24日
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