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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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我国半导体材料装备行业:国产替代加速 原材料价格波动与供应链安全制造成本基线

我国半导体材料装备行业:国产替代加速 原材料价格波动与供应链安全制造成本基线

中国半导体材料装备行业在2023年经历终端需求缩减、市场规模下滑的态势后,2024年整体呈现恢复增长态势,与全球半导体材料行业的发展趋势基本一致。截止2025年,我国半导体材料装备市场规模达到4678亿元。

2026年03月24日
推动半导体产业延续基石——光刻机国产替代正加速

推动半导体产业延续基石——光刻机国产替代正加速

全球光刻机市场格局稳定,三巨头长期寡头主导。ASML、Canon与Nikon长期分列全球市场份额1至3名。2024年全球集成电路用光刻机合计出货约683台,其中ASML/Canon/Nikon分别为418/233/32台,对应市占率约61.2%/34.1%/4.7%。2025年ASML全年销量327台,相比2024年下

2026年03月20日
中国动压油膜滑动轴承‌‌‌行业前景:“以滑代滚”渐成趋势 应用拓展下市场将持续扩容

中国动压油膜滑动轴承‌‌‌行业前景:“以滑代滚”渐成趋势 应用拓展下市场将持续扩容

目前,滑动轴承已逐步在部分领域替代了传统滚动轴承,越来越多的轧机已由滚动轴承改为滑动轴承,许多大型机械如水轮机等也都开始采用滑动轴承,同时,风电齿轮箱领域的“以滑代滚”渐成趋势,将大幅降低超大功率风电齿轮箱成本,未来超大功率半直驱型风电齿轮箱市场前景广阔。随着未来机器越来越向高速度和大功率方向发展,对轴承性能的要求也越

2026年03月05日
中国动压油膜滑动轴承行业正处成长期 新进入者面临较高资金、技术、管理等壁垒

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近年来,随着国家对轴承制造行业的重视,国家陆续推出一系列支持性政策和指导性文件,为动压油膜滑动轴承行业的健康、快速发展以及动压油膜滑动轴承产品的进口替代和国产化进程创造了良好的政策环境。

2026年03月04日
我国钽电容行业:民用领域有待重点突破 高端市场由外资主导 内资奋力追赶中

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中国钽电容器市场规模不断扩大,2020年中国钽电容器市场规模为63亿元,到2024年市场规模达到73.20亿元。展望未来,钽电容器将向小型化、大容量、高可靠、高频化、低ESR值的方向发展,可以很好地满足电子技术及发展需求以及武器装备的小型化、轻型化和高性能化的需要。

2026年02月06日
刚需属性加持 我国共享充电宝市场增势延续可期 行业集中化格局成形 怪兽充电领跑

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2022年,我国共享充电宝行业市场规模达100亿元,同比下降13.79%,2023年,随着我国居民生产生活回归正常节奏,出行市场恢复火热,线下市场回温成为首要利好因素,推动行业规模稳步上升至126亿,同比增速达到25.7%。

2026年01月29日
我国高功率电源行业:从进口依赖到供需平衡 头部企业已切入国际供应链

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自2022年开始高功率电源市场规模开始加速增长,2022年行业市场规模为1305.29亿元,2024年达到1395.5亿元,2025年上半年为682.73亿元。

2026年01月15日
数据中心建设推动液冷散热成为主流,蓝海市场下多家汽车热管理企业跨界入局

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按上述计划,2025年起,运营商50%以上的新建数据中心将应用液冷技术。根据工信部、国家网信办等发布的公开资料显示,预计到2027年,中国新建液冷数据中心规模将突破1100MW,增速将高于数据中心整体规模增长水平,且2027年后每年新增规模有望保持千兆瓦以上,整体呈现高速增长态势。

2026年01月12日
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