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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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数据中心建设推动液冷散热成为主流,蓝海市场下多家汽车热管理企业跨界入局

数据中心建设推动液冷散热成为主流,蓝海市场下多家汽车热管理企业跨界入局

按上述计划,2025年起,运营商50%以上的新建数据中心将应用液冷技术。根据工信部、国家网信办等发布的公开资料显示,预计到2027年,中国新建液冷数据中心规模将突破1100MW,增速将高于数据中心整体规模增长水平,且2027年后每年新增规模有望保持千兆瓦以上,整体呈现高速增长态势。

2026年01月12日
我国动压油膜滑动轴承需求逐步回暖 风电核电成核心增长极

我国动压油膜滑动轴承需求逐步回暖 风电核电成核心增长极

近年来,我国动压油膜滑动轴承行业市场规模保持稳定增长态势,2024年,中国动压油膜滑动轴承市场规模达到44.98亿元。我国动压油膜滑动轴承行业目前仍处于成长期,生产技术和产品质量仍在继续提升之中,产品的应用领域还有很大的拓展空间,未来行业有望保持快速增长态势,2025年上半年市场规模约为25.12亿元。

2026年01月08日
我国电子皮肤行业:供给能力提升 市场正从单一压力感知向多模态感知发展

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随着人形机器人产业的持续发展,以及电子皮肤技术进步带来的对供需两端的促进作用,近几年我国电子皮肤行业规模有着较好的增长,截止2024年我国电子皮肤市场规模达到85.46亿元,2025年上半年约为52.93亿元。

2026年01月07日
我国BOPP电容膜行业供需两旺 市场处于典型寡占型格局

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近年来BOPP电容膜下游需求不断增长,2020年行业销量为5.97万吨,2024年达到8.51万吨,2025年上半年达到4.67万吨。

2026年01月04日
三大核心场景驱动固态变压器规模化商用落地 全球市场呈现“差异化突围”趋势

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随着产业链协同突破技术瓶颈、持续优化成本以及应用场景多元化拓展,固态变压器有望成为支撑新型电力系统和数字化基础设施建设的重要力量。2024年我国固态变压器行业市场规模达到了99.46亿元,2025年上半年达到了78.94亿元。

2025年12月30日
激光雷达正向“大众刚需”转型 应用场景形成“多轨并行”发展态势

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中国激光雷达市场已进入快速增长通道,规模从2020年的20.43亿元跃升至2024年的77.19亿元,2025年上半年为41.95亿元。全球视角下,中国厂商禾赛科技、速腾聚创、华为、图达通等企业跻身全球头部阵营。细分市场中,机器人领域则因无人配送、割草、清洁等场景的爆发,成为新的增长极。

2025年12月30日
中国终点检测设备行业处于国产替代大趋势中 现存较高资本技术及人才壁垒

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当前我国终点检测设备行业处于国产替代的大趋势中,外国企业占据了较高的市场份额,国内企业尚处于发展的早期阶段,由于地缘政治等因素的影响,终点检测设备行业基本上很难通过国外企业带动产业发展,国内需要摸着石头过河,因此行业基本处于发展的早期阶段,成长期特征较为明显。

2025年12月23日
中国已成全球半导体流量计最大单一市场 行业国产替代加速与技术创新并行

中国已成全球半导体流量计最大单一市场 行业国产替代加速与技术创新并行

根据美国半导体行业协会(SIA)数据,2024年全球半导体销售金额为6,188.9亿美元,同比增长19.09%,首次突破6,000亿美元大关。其中,中国2024年半导体销售金额为1,822.4亿美元,同比增长20.03%,占全球销售额比重接近30%。

2025年12月19日
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