中国报告网提示：半导体清洗设备，由气路系统、管路系统、控制系统等组成，主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成，下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备，由气路系统、管路系统、控制系统等组成，主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成，下游主要应用于集成电路制造行业。半导体清洗设备产业链
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半导体清洗设备产品主要可分为六大类：单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类
| 设备类型 |
清洗方法 |
适用场合 |
| 单晶圆清洗设备 |
旋转喷淋 |
全生产流程 |
| 自动清洗台 |
溶液浸泡 |
全生产流程 |
| 洗刷台 |
旋转喷淋 |
锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD |
| 超音波清洗设备 |
超声清洗 |
半导体前道各阶段 |
| 晶圆盒清洗设备 |
机械擦拭 |
晶圆盒清洗 |
| 等离子体清洗设备 |
等离子体清洗 |
光刻胶去除 |
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其中，单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型，占比高达65%；其次为自动清洗台，占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
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近五年来，随着半导体产业不断发展，全球半导体清洗设备市场容量不断增长，2019年市场容量达到32.8亿美元，同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展，全球半导体设备市场容量将不断扩大，到2020年将达36亿美元，同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
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从市场竞争来看，目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中，迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额，为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
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但近年来，我国半导体清洗设备产业迅速发展，国产化率不断提升，涌现出了一批优秀的龙头企业，如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示，从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出，目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
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展望未来，在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下，我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
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数据显示，预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
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同时，随着国产企业相关技术研发不断取得进展，我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速，未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况
| 企业名称 |
具备技术 |
在研技术 |
| 盛美半导体 |
28-130 |
14 |
| 北方华创 |
28-130 |
14 |
| 至纯科技 |
28-130 |
14 |
| 芯源徽 |
14-130 |
5/7 |
数据来源：各公司官网（shz）
相关行业分析报告参考《2020年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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中国报告网提示：半导体清洗设备，由气路系统、管路系统、控制系统等组成，主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成，下游主要应用于集成电路制造行业。
