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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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我国光伏边框行业分析:降本增效以及海上光伏推进下复合材料边框发展机遇凸显

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我国光伏产业蓬勃发展,新增和累计装机容量不断攀升,带动光伏组件需求提升、出货量快速增长,为光伏边框行业带来强劲增长动力和广阔市场空间。2025年上半年中国光伏边框行业市场规模约为90.52亿元

2025年11月08日
我国液冷市场快速发展,冷液分配装置(CDU)前景向好

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液冷技术经过几十年发展,被广泛认为是解决散热挑战最行之有效的方法。近年来,中国液冷数据中心市场快速发展,市场规模年均复合增速超过30%;预计到2030年前后,中国液冷市场可突破千亿规模。

2025年11月06日
中国变压器产业优势明显,海外电力设备需求旺盛

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全球电力系统升级迭代需求显现,带动变压器需求大涨。与此同时,中国变压器出口量实现快速增长。国外变压器企业扩产动作相对缓慢,而中国变压器产量丰富,并且变压器厂商具有原材料供应稳定、生产成本低、技术能力强等优势,将迎来出口黄金期,产品出海动力足。

2025年11月04日
国内存储芯片市场占比持续提升,AI驱动下存储需求有望延续复苏态势

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我国存储芯片行业市场规模不断扩大,2023年中国半导体存储器市场规模约为3943亿元,2024年约为4267元,预计2025年市场规模将达4580亿元。目前存储芯片市场主要以DRAM和NANDFlash为主。其中,DRAM市场规模最大,占比约为55.9%,NANDFlash占比约为44.0%。

2025年11月04日
中国为模拟芯片最主要消费市场,政策指引国产替代进程加速

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模拟芯片下游多元分布,汽车与通信市场领跑成为主要增长引擎。根据弗若斯特沙利文报告,2024年中国模拟芯片下游应用领域中,消费电子占比约37%,为722亿元;泛能源市场规模为507亿元,汽车电子市场规模为371亿元,通讯市场规模为292亿元。

2025年10月30日
我国固态电解质产业链条优势明显,本土企业具有较强的先发优势

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在技术路径的选择上,日韩企业更倾向于硫化物体系,欧美企业更偏向于氧化物和聚合物,我国的技术路线选择相对更加多样化,但是最主流的仍然是硫化物和氧化物。根据市场公布的统计数据,全球固态电池企业选择硫化物的占比为38%,选择氧化物的占比为32%,选择聚合物的有22%。

2025年10月29日
我国感光干膜行业:国产替代加速 市场竞争逐渐加剧

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随着国内企业不断加大研发投入,技术突破和自主创新,国产企业如福斯特、容大感光、湖南初源新材料股份有限公司等逐渐崛起,其技术和产品在中低端市场逐步占据一定份额,并开始向高端市场进军,加速了国产替代进程。而随着国产替代进程的持续推进,国内企业也有着越来越好的市场表现,截止2024年我国感光干膜产量约为7.76亿平方米,20

2025年10月17日
我国淀粉糖行业:产销率保持在60%以上 集中度提升趋势明显

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近年来我国淀粉糖行业市场规模总体保持增长态势,2020年行业市场规模为320.16亿元,2024年达到454.73亿元,2025年上半年达到212.94亿元。

2025年10月16日
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