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我国半导体清洗设备国产率不断提升 未来市场需求将持续增长

       半导体清洗设备,由气路系统、管路系统、控制系统等组成,主要应用于半导体清洗工序。其产业链上游主要为各类系统构成,下游主要应用于集成电路制造行业。
半导体清洗设备产业链
 资料来源:公开资料整理
       半导体清洗设备产品主要可分为六大类:单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷台、超音波清洗设备、晶圆盒清洗设备、等离子体清洗设备。
半导体清洗设备分类

设备类型

清洗方法

适用场合

单晶圆清洗设备

旋转喷淋

全生产流程

自动清洗台

溶液浸泡

全生产流程

洗刷台

旋转喷淋

锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD

超音波清洗设备

超声清洗

半导体前道各阶段

晶圆盒清洗设备

机械擦拭

晶圆盒清洗

等离子体清洗设备

等离子体清洗

光刻胶去除

资料来源:公开资料整理
       其中,单晶圆清洗设备为我国半导体清洗设备主要类型,占比高达65%;其次为自动清洗台,占比为25%。
我国半导体清洗设备市场细分产品占比情况
 数据来源:公开资料整理
       近五年来,随着半导体产业不断发展,全球半导体清洗设备市场容量不断增长,2019年市场容量达到32.8亿美元,同比增长5.81%。预计随着半导体产业蓬勃发展,全球半导体设备市场容量将不断扩大,到2020年将达36亿美元,同比增长9.76%。
2015-2020年全球半导体设备市场容量与同比增长及预测
 数据来源:公开资料整理
       从市场竞争来看,目前全球半导体清洗设备行业主要被国外企业垄断。其中,迪恩士占据了全球半导体清洗设备近一半的市场份额,为45.1%。
2019年全球半导体清洗设备市场企业竞争格局
 数据来源:公开资料整理
       但近年来,我国半导体清洗设备产业迅速发展,国产化率不断提升,涌现出了一批优秀的龙头企业,如ACM、北方华创、至纯科技等。数据显示,从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额可以看出,目前我国半导体清洗设备国产化率已超过20%。
2019年中国半导体清洗设备招标采购份额占比情况
 数据来源:公开资料整理
       展望未来,在工艺不断升级、对集成电路新型材料的出现对清洗工艺提出新需求等因素驱动下,我国半导体清洗设备的需求量将不断提升。
我国半导体清洗设备需求增长驱动因素分析
 资料来源:公开资料整理
       数据显示,预计到2020年我国半导体清洗设备需求空间将达到35-40亿美元。
2018-2020年我国半导体清洗设备需求空间及预测
 数据来源:公开资料整理
       同时,随着国产企业相关技术研发不断取得进展,我国半导体清洗设备国产替代化将不断加速,未来国内清洗设备企业有望快速成长。
截至目前我国半导体清洗设备产业主要企业相关技术研发情况

企业名称

具备技术

在研技术

盛美半导体

28-130

14

北方华创

28-130

14

至纯科技

28-130

14

芯源徽

14-130

5/7

数据来源:各公司官网(shz)
       相关行业分析报告参考《2022年中国半导体清洗设备行业分析报告-行业规模现状与发展趋势分析》。
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我国感光干膜行业:国产替代加速 市场竞争逐渐加剧

我国感光干膜行业:国产替代加速 市场竞争逐渐加剧

随着国内企业不断加大研发投入,技术突破和自主创新,国产企业如福斯特、容大感光、湖南初源新材料股份有限公司等逐渐崛起,其技术和产品在中低端市场逐步占据一定份额,并开始向高端市场进军,加速了国产替代进程。而随着国产替代进程的持续推进,国内企业也有着越来越好的市场表现,截止2024年我国感光干膜产量约为7.76亿平方米,20

2025年10月17日
我国淀粉糖行业:产销率保持在60%以上 集中度提升趋势明显

我国淀粉糖行业:产销率保持在60%以上 集中度提升趋势明显

近年来我国淀粉糖行业市场规模总体保持增长态势,2020年行业市场规模为320.16亿元,2024年达到454.73亿元,2025年上半年达到212.94亿元。

2025年10月16日
全球PCB行业呈稳步增长态势 国内高端应用有望催动PCB产品结构升级

全球PCB行业呈稳步增长态势 国内高端应用有望催动PCB产品结构升级

目前,中国大陆PCB产能集中于中低端领域,从PCB行业细分产品占比来看,中国PCB市场中刚性板的市场占比最高,达81%,包括多层板、刚性单双面板以及HDI板等多种类型;挠性板、封装基板和刚挠结合板占比较低,分别为14%、4%和1%。

2025年10月16日
英伟达要求开发“微通道水冷板(MLCP)”,水冷板市场有望取得技术突破

英伟达要求开发“微通道水冷板(MLCP)”,水冷板市场有望取得技术突破

据台湾经济日报报道,随着AI算力需求的急剧增加,英伟达最新推出的Rubin与下一代Feynman平台的功耗预期将突破2000W,现有的散热方案已难以满足这一需求。因此,英伟达向其供应商提出要求,开发全新的“微通道水冷板(MLCP)”技术,其单价是现有散热方案的3至5倍,水冷板和均热片正成为新的“战略物资”。

2025年09月29日
MLCC下游应用领域汽车电子成为新增长引擎,我国国产替代正在加速推进

MLCC下游应用领域汽车电子成为新增长引擎,我国国产替代正在加速推进

从下游来看,早期MLCC的主要需求来自于移动终端/手机,占比达到了30%以上。而随着下游需求结构的持续变化,新兴的领域,如汽车和AI等需求持续成长,并逐步替代手机,到2023年汽车电子领域的应用在全球MLCC的占比达28%,汽车电子已成为MLCC最大的应用方向。

2025年09月24日
中国已成全球最大通信连接器生产基地 行业将向智能化制造、定制化需求发展

中国已成全球最大通信连接器生产基地 行业将向智能化制造、定制化需求发展

随着世界制造业向中国转移,全球通信连接器的生产重心也逐步向中国转移,中国已经成为世界上最大的通信连接器生产基地。具体来看,2024年全球通信连接器市场规模中国地区占比28.76%,亚太地区占比14.84%,北美地区占比27.08%,欧洲地区占比25.57%。

2025年09月23日
我国已成全球干式变压器产销大国 行业平稳增长 但企业竞争异常激烈

我国已成全球干式变压器产销大国 行业平稳增长 但企业竞争异常激烈

随着我国环保政策不断加强,企业环保意识也逐渐提高,环保要求越来越高。而干式变压器绝缘强度高、不易燃烧、免维护、无环境污染的优点在各领域的应用中越显突出。而且在干式变压器寿命结束后,钢、铁、铜等材料易回收,越来越多的企业用户选择干式变压器。

2025年09月17日
人形机器人驱动电子皮肤市场高速增长,灵巧手领域有望成为率先放量环节

人形机器人驱动电子皮肤市场高速增长,灵巧手领域有望成为率先放量环节

得益于人形机器人产业化进程加快、医疗领域对实时健康监测和智能诊疗的需求增长、消费电子产品对新型人机交互方式的探索、柔性电子和传感器技术的不断突破、以及AI和物联网技术的普及应用。据测算,截止2024年全球电子皮肤市场规模达到63亿美元,近年来平均增速达到20%,且未来有望维持较高增速。

2025年09月11日
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