我国已成为CMP设备大国产量与供给量稳步增长但国产率仍需提高

2020-10-09 05:37

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CMP设备，又称化学机械抛光设备，是CMP技术应用的载体，由检测系统、控制系统、抛光垫、废物处理系统等组成。

CMP设备产业链

资料来源：公开资料整理

从全球范围来看，2012-2018年，全球CMP设备市场规模呈现波动增长的态势，2019年受下游行业的影响，其市场规模有所回落，为23.05亿美元，同比下降10.73%。

2012-2019年全球CMP设备市场规模

数据来源：公开资料整理

从CMP全球市场分布来看，我国占据了近三分之一的市场份额，其次为韩国与北美，其市场占比分别为26%与13%。

2019年全球CMP设备市场竞争格局

数据来源：公开资料整理

从CMP全球企业竞争来看，行业由应用材料和荏原机械两家企业垄断，两者占比合计为95%。

2019年全球CMP设备市场企业竞争格局

数据来源：公开资料整理

从国内角度来看，由于CMP设备是我国集成电路制造的核心技术，为了推进集成电路制造产业发展，我国也陆续出台了一系列政策扶持CMP设备产业发展。

我国CMP设备产业相关政策

政策名称	主要内容
《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录(2019年版)》	双面化学机械研磨设备、硅片单面抛光机、铜化学机械抛光CMP设备均位列其中。
《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》	提出优化产业结构，推进包括CMP设备在内的集成电路专用设备关键核心技术兖破与应用。
《中国制造2025》	着力提升集成电路设计水平，掌握高密度封装及三维（3D)微组装技术。提升封装、测试产业的自主发展能力，形成包括CMP设备在内关键制造设备的供货能力。

资料来源：公开资料整理

在政策扶持下，我国已成为全球CMP设备大国，CMP设备市场发展呈良好态势，产品产量与供给量整体不断增长。数据显示，2019年我国CMP设备产量为25台，供给量为279台，在全球CMP设备市场中的占比约为35%。

2015-2019年我国CMP设备产量与供给量

数据来源：公开资料整理

与此同时，随着行业保持快速增长，我国也涌现出了一批优秀的CMP设备制造企业，但目前我国CMP设备国产率仍需提高。

我国CMP设备行业相关企业介绍

企业名称	简介
华海清科	华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
中国电子科技集团公司第四十五研究所	是国内专门从事电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点科研生产单位。
天隽机电	是一家集研发、生产、销售、服务为一体的股份制企业。长期专业从事化学品系统、研磨液系统、蚀刻及湿法制程清洗设备的生产与制造。

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展望未来，随着CMP工艺的演变以及芯片尺寸不断减小的趋势，CMP步骤(循环次数)也在逐渐加多，其产物的表面也越来越精细。而国内企业想要提升自身竞争力，实现CMP设备国产替代，则需要不断加速相关技术研发。

我国CMP步骤次数随芯片尺寸大小变化增加趋势

数据来源：公开资料整理

未来，随着中国化学机械抛光机生产技术水平的进一步提升，华海清科等生产企业将会不断崛起，企业综合竞争力也将会大幅提升，产品将逐渐实现规模化生产和应用届时，外资品牌产品在中国市场的竞争力将会有所减弱，国产替代率将会不断提高。（shz）

相关行业分析报告参考《2020年中国CMP设备市场调研报告-产业规模现状与前景评估预测》。

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