光刻机 市场规模 占比在国际光刻机市场上,目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面,EUV方面还是ASML独占鳌头,市占率100%;ArFi方面ASML市占率高达88%;ArF方面ASML占有63%的市场份额;KrF方面ASML也是占据63%的市场份额;在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看,全年共出货154台,其中ASML出货130台,占有84%的市常

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全球光刻机行业市场规模不断扩大 ASML、尼康和佳能呈三足鼎立格局

字体大小: 2020-04-29 11:22  来源:中国报告网

中国报告网提示:在国际光刻机市场上,目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面,EUV方面还是ASML独占鳌头,市占率100%;ArFi方面ASML市占率高达88%;ArF方面ASML占有63%的市场份额;KrF方面ASML也是占据63%的市场份额;在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看,全年共出货154台,其中ASML出货130台,占有84%的市常

        光刻机是光刻工序中的一种投影曝光系统,其包括光源、光学镜片、对准系统等。在制造过程中,通过投射光束,穿过掩膜板和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶,经过显影后可以将电路图最终转移到硅晶圆上。按照类型分为无掩模光刻机和有掩模光刻机:

光刻机分类
 
数据来源:公开资料整理

        随着曝光光源的改进,光刻机工艺技术节点不断缩小,设备从光源(从最初的g-Line,i-Line发展到EUV)、曝光方式(从接触式到步进式,从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。

光刻机经历了五代发展

历程

光源

波长(nm

类型

制程(nm

第一代

g-line

436

接触接近式

800-250

第二代

i-line

365

接触接近式

800-250

第三代

KrF

248

扫描投影式

180-130

第四代

ArF

193

浸没步进式

45-22

步进投影式

130-65

第五代

EUV

13.5

极紫外式

22-7

数据来源:公开资料整

        目前光刻机主要可以分为IC前道制造光刻机、IC后道先进封装光刻机、LED/MEMS/PowerDevices制造用光刻机以及面板光刻机,其中IC前道光刻机技术最为复杂。光刻机是晶圆制造产线中成本最高的半导体设备,占晶圆生产线设备成本27%,光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。

晶圆生产线设备成本结构图
 
数据来源:公开资料整理

        在国际光刻机市场上,目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面,EUV方面还是ASML独占鳌头,市占率100%;ArFi方面ASML市占率高达88%;ArF方面ASML占有63%的市场份额;KrF方面ASML也是占据63%的市场份额;在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看,全年共出货154台,其中ASML出货130台,占有84%的市场。

2019年三大巨头光刻机销量对比情况
 
数据来源:公开资料整理

2019年三大巨头光刻机市场份额对比情况
 
数据来源:公开资料整理

        在国内市场,由于我国在光刻机行业发展起步较晚,再加上光刻机的制造和维护对研发技术和资金具备较高的门槛,我国相关光刻机产业集中在中低端产品上,在高端产品方面其产能具有一定的缺口,且仍需大量进口。

        随着产业转移和建厂潮的推动,全球光刻设备市场将不断增长。预计2025年全球光刻机市场规模将达到4.917亿美元。

2017-2025年全球光刻机行业市场规模及预测情况
 
数据来源:公开资料整理

        2020年4月,华卓精科的科技公司与清华大学取得了合作,攻克了国产光刻机研制上的一个关键技术-双工件台,这将为国产光刻机的发展提供极大帮助,并有希望在未来攻破7nm技术。

        近年来,在国外的垄断下,越来越多的企业都意识到了光刻机的重要性以及对未来的影响,未来在各大科技企业的努力之下,我国国产光刻机将迎来不断的突破,市场发展前景依然可期。(WYD)

        以上数据参考资料《2020年中国光刻机市场分析报告-行业运营态势与发展前景预测

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中国报告网提示:在国际光刻机市场上,目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面,EUV方面还是ASML独占鳌头,市占率100%;ArFi方面ASML市占率高达88%;ArF方面ASML占有63%的市场份额;KrF方面ASML也是占据63%的市场份额;在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看,全年共出货154台,其中ASML出货130台,占有84%的市常

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