光刻机是光刻工序中的一种投影曝光系统，其包括光源、光学镜片、对准系统等。在制造过程中，通过投射光束,穿过掩膜板和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶，经过显影后可以将电路图最终转移到硅晶圆上。按照类型分为无掩模光刻机和有掩模光刻机：
随着曝光光源的改进，光刻机工艺技术节点不断缩小，设备从光源(从最初的g-Line，i-Line发展到EUV)、曝光方式(从接触式到步进式，从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。
目前光刻机主要可以分为IC前道制造光刻机、IC后道先进封装光刻机、LED/MEMS/PowerDevices制造用光刻机以及面板光刻机，其中IC前道光刻机技术最为复杂。光刻机是晶圆制造产线中成本最高的半导体设备，占晶圆生产线设备成本27%，光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。
在国际光刻机市场上，目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面，EUV方面还是ASML独占鳌头，市占率100%；ArFi方面ASML市占率高达88%；ArF方面ASML占有63%的市场份额；KrF方面ASML也是占据63%的市场份额；在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看，全年共出货154台，其中ASML出货130台，占有84%的市场。
在国内市场，由于我国在光刻机行业发展起步较晚，再加上光刻机的制造和维护对研发技术和资金具备较高的门槛，我国相关光刻机产业集中在中低端产品上，在高端产品方面其产能具有一定的缺口，且仍需大量进口。
随着产业转移和建厂潮的推动，全球光刻设备市场将不断增长。预计2025年全球光刻机市场规模将达到4.917亿美元。
2020年4月，华卓精科的科技公司与清华大学取得了合作，攻克了国产光刻机研制上的一个关键技术-双工件台，这将为国产光刻机的发展提供极大帮助，并有希望在未来攻破7nm技术。
近年来，在国外的垄断下，越来越多的企业都意识到了光刻机的重要性以及对未来的影响，未来在各大科技企业的努力之下，我国国产光刻机将迎来不断的突破，市场发展前景依然可期。（WYD）
以上数据参考资料《2020年中国光刻机市场分析报告-行业运营态势与发展前景预测》
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光刻机分类
数据来源：公开资料整理
随着曝光光源的改进，光刻机工艺技术节点不断缩小，设备从光源(从最初的g-Line，i-Line发展到EUV)、曝光方式(从接触式到步进式，从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。
光刻机经历了五代发展
| 历程 |
光源 |
波长（nm） |
类型 |
制程（nm） |
| 第一代 |
g-line |
436 |
接触接近式 |
800-250 |
| 第二代 |
i-line |
365 |
接触接近式 |
800-250 |
| 第三代 |
KrF |
248 |
扫描投影式 |
180-130 |
| 第四代 |
ArF |
193 |
浸没步进式 |
45-22 |
| 步进投影式 |
130-65 |
|||
| 第五代 |
EUV |
13.5 |
极紫外式 |
22-7 |
数据来源：公开资料整理
目前光刻机主要可以分为IC前道制造光刻机、IC后道先进封装光刻机、LED/MEMS/PowerDevices制造用光刻机以及面板光刻机，其中IC前道光刻机技术最为复杂。光刻机是晶圆制造产线中成本最高的半导体设备，占晶圆生产线设备成本27%，光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。
晶圆生产线设备成本结构图
数据来源：公开资料整理
在国际光刻机市场上，目前全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON所占据主动权。在市场份额方面，EUV方面还是ASML独占鳌头，市占率100%；ArFi方面ASML市占率高达88%；ArF方面ASML占有63%的市场份额；KrF方面ASML也是占据63%的市场份额；在i线方面ASML也拿下了33%的份额。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看，全年共出货154台，其中ASML出货130台，占有84%的市场。
2019年三大巨头光刻机销量对比情况
数据来源：公开资料整理
2019年三大巨头光刻机市场份额对比情况
数据来源：公开资料整理
在国内市场，由于我国在光刻机行业发展起步较晚，再加上光刻机的制造和维护对研发技术和资金具备较高的门槛，我国相关光刻机产业集中在中低端产品上，在高端产品方面其产能具有一定的缺口，且仍需大量进口。
随着产业转移和建厂潮的推动，全球光刻设备市场将不断增长。预计2025年全球光刻机市场规模将达到4.917亿美元。
2017-2025年全球光刻机行业市场规模及预测情况
数据来源：公开资料整理
2020年4月，华卓精科的科技公司与清华大学取得了合作，攻克了国产光刻机研制上的一个关键技术-双工件台，这将为国产光刻机的发展提供极大帮助，并有希望在未来攻破7nm技术。
近年来，在国外的垄断下，越来越多的企业都意识到了光刻机的重要性以及对未来的影响，未来在各大科技企业的努力之下，我国国产光刻机将迎来不断的突破，市场发展前景依然可期。（WYD）
以上数据参考资料《2020年中国光刻机市场分析报告-行业运营态势与发展前景预测》
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